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类型:气体捕集泵 | 品牌:ANEST IWATA/岩田 | 型号:ZH1800 |
材质:不锈钢 | 用途:真空镀膜机 |
中山港业二手真空镀膜机设备购销有限公司长期专业从事真空设备的收售、收购二手真空镀膜机和买卖二手真空镀膜设备以及镀膜机流水线的企业。本公司从事真空镀膜机回收和有着丰富的镀膜技术及设备的设计安装等
港业真空镀膜机范围:JZJBA罗茨水环真空机组、LG螺杆真空泵HC-CKDL-1400磁控溅射镀膜机、HC-CKJD中频磁控溅射镀膜机、HC-CKJD600非平衡磁控镀膜机、HC-CKJD-1000磁控溅射镀膜机、HC-ZFD-1000电阻蒸发镀膜机、HC-ZFD-1600蒸发镀膜机、HC-ZFD-1200蒸发镀膜机、蒸发+磁控镀膜机、HC-ZFC-2000汽车轮毂镀膜机、汽车轮毂镀膜机、油扩散泵等
排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。
排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。
机械泵:也叫前级泵,机械泵是应用***的一种低真空泵,它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。
机械泵有很多种,常用的有滑阀式(此主要应用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此目前应用***,本文主要介绍)四种类型。
机械泵常常被用来抽除干燥的空气,但不能抽除含氧量过高、有爆炸性和腐蚀性的气体,机械泵一般被用来抽除***性的气体,但是对水气没有好的效果,所以它不能抽除水气。旋片泵中起主要作用的部件是定子、转子、弹片等,转子在定子里面但与定子不同心轴,象两个内切圆,转子槽内装有两片弹片,两弹片中间装有弹簧,***了弹片紧紧贴在定子的内壁。
它的两个弹片交替起着两方面的作用,一方面从进气口吸进气体,另一方面压缩已经吸进的气体,将气体排出泵外。转子每旋转一周,泵完成两次吸气和两次排气。当泵连续顺时针转动时,旋片泵不断的通过进气口吸入气体,又从排气口不断的排出泵外,实现对容器抽气的目的。为了提高泵的极限真空度,均将泵的定子浸在油里面这样,在各处的间隙中及有害空间里面经常保持足够的油,把空隙填满,所以油一方面起到了润滑作用,另一方面又起了密封和堵塞缝隙及有害空间的作用,防止气体分子通过各种渠道反流到压强低的空间去。